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真空镀膜机与动磁场磁控滅射源

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真空镀膜机与动磁场磁控滅射源来源硅胶电热线:中国五金商机日期:真空镀膜机动磁场真空镀膜磁控滅射源，包括靶基板、焊接或用压环固定在靶基板正面的片状靶材、屏蔽环、磁钢基板、安装在磁钢基板鞋底模具上的内磁钢和外磁钢

真空镀膜机动磁场真空镀膜磁控滅射源，包括靶基板、焊接或用压环固定在靶基板正面的片状靶材、屏蔽环、磁钢基板、安装在磁钢基板上的内磁钢和外磁钢

      真空镀膜机动磁场真空镀膜磁控滅射源，包括靶基板、焊接或用压环固定在靶基板正面的片状靶材、屏蔽环、磁钢基板、安装在磁钢基板上的内磁钢和外磁钢，所作的改进是：磁钢基板的直径大于靶材的半径、小于靶材的直径，磁钢基板轴线偏离靶基板轴线，磁钢基板固定在一个正齿轮的因此废旧塑料颗粒处理将成为未来试金高温炉电子万能实验机工作条件：的发展热门侧面上，在镀膜机机架上安装与正齿轮啮合的齿圈，在机架上安装位于正齿轮后侧的电机，电机动力输出轴上固定拐柄，齿轮轴安装在拐柄上。电机动力输出轴及齿圈与靶基板同轴线设置。本发明的积极效果是：得到一个公转兼自转的环形平凉磁场，用以扫描到靶材的每一个位置，使靶材在更大的面积上被均匀地滅射刻蚀。靶材的利用率高，镀膜均匀。

       1.一种动磁场真空镀膜磁控溅射源，包括正面在真空沉积腔中的靶基板、焊接或用压环固定在靶基板正面的片状靶材、罩住靶基板圆周侧面及靶基板正面靶材以外部分的屏蔽环、设置在靶基板背面的磁钢基板、安装在磁钢基板上的朝向靶基板一侧的圆心位置的内磁钢和圆周位置的环形外磁钢或排列成环的组合外磁钢，其特征是：磁钢基板的直径大于靶材的半径、小于靶材的直径，磁钢基板轴线偏离靶基板轴线，磁钢基板固定在一个正齿轮的侧面上，在镀膜机机架上安装与正齿轮啮合的齿圈，在机架上安装位于正齿轮后侧的电机，电机动力输出轴上固定拐柄，齿轮轴安装在拐柄上。

       2.根据权利要求要装置在混凝土上面1所述的一种动磁场真空镀膜磁控溅射源，其特征是：电机动力输出轴及齿圈与靶基板同轴线设置。

       3.根据权利要求1所述的一种动磁场真空镀膜磁控溅射源，其特征是：齿圈的分度圆直径减去内磁钢的分度圆直径之差要大于或等于内磁钢的直径。

       4.根据权利要求1所述的一种动磁场真空镀膜磁控溅射源，其特征是：磁钢基板轴线偏离靶基板轴线的距离加磁钢基板半径之和等于或接近于靶材的半径的长度。

       东莞汇成真空十多年来专业从事各种真空镀膜应用设备制造，不断引进国外先进的真空镀膜设备，多年来致力于研发和生产真空镀膜机，以最新技术不断制造出满足冲床模具市场需要的真空电镀设备，为客户提供定制化的工艺解决方案和机器。欢迎广大顾客来电咨询，：。

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